VXT系列平臺(tái)由直線交叉滾子軸承、直線電機(jī)和一個(gè)非接觸式線性編碼器組成。這個(gè)系列平臺(tái)采用了中心驅(qū)動(dòng)的無鐵心運(yùn)動(dòng)，它能產(chǎn)生零齒槽效應(yīng)，以確保平穩(wěn)地控制速度并進(jìn)一步提高運(yùn)行效率。該系列的平臺(tái)高速性能優(yōu)良和準(zhǔn)確。

	VXT I-L SERIES  特征
	高分辨率（1nm)，高重復(fù)定位精度(75nm)和高定位精度(250nm)
	具有納米級(jí)性能并且行程較長
	運(yùn)動(dòng)誤差小、穩(wěn)定精度高
	具有抗蠕變特性
	高動(dòng)態(tài)特性
	VXT I-XY SERIES  特征
	高分辨率(1nm)，高重復(fù)定位精度(75nm)和高定位精度(250nm)
	具有高度集成化的XY直線電機(jī)納米平臺(tái)
	具有納米級(jí)性能并且行程較長
	運(yùn)動(dòng)誤差小，穩(wěn)定精度高
	具有抗蠕變特性
	直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)的高動(dòng)態(tài)性能