直線(xiàn)型機(jī)械手是一款用于晶圓傳輸、單臂運(yùn)動(dòng)的潔凈機(jī)械手，專(zhuān)為半導(dǎo)體制造環(huán)境設(shè)計(jì)。軟件算法實(shí)現(xiàn)的插補(bǔ)軸的聯(lián)動(dòng)控制，可實(shí)現(xiàn)末端高精度平滑軌跡運(yùn)動(dòng)，確保晶圓的穩(wěn)定、高效傳輸。