作為晶圓的真空傳輸系統(tǒng)中的基板搬運(yùn)機(jī)器人，XIVI的真空機(jī)械手的全連桿手臂機(jī)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)更高的定位精度。采用全閉環(huán)控制方式，搭載真空直驅(qū)電機(jī)，擁有更高的回轉(zhuǎn)精度與更快的響應(yīng)時(shí)間，雙向雙臂的配置，可以在不擴(kuò)大腔室的情況下比傳統(tǒng)型號(hào)傳輸更長(zhǎng)的距離，且面對(duì)多工位，擁有更高的工作效率。當(dāng)需要在高真空環(huán)境中以經(jīng)過驗(yàn)證的精度和可重復(fù)性傳輸基板時(shí)，XIVI的真空機(jī)械手實(shí)現(xiàn)了高定位重復(fù)性和高可靠的真空分區(qū)性能。