VAG 陶瓷系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是 XIVI持續(xù)在氣浮平臺(tái)的研發(fā)設(shè)計(jì)與制造的基礎(chǔ)上，結(jié)合陶瓷材料的高剛度、低熱膨脹等材料優(yōu)勢(shì)，加之XIVI特有的加工技術(shù)、精密結(jié)構(gòu)分析與設(shè)計(jì)領(lǐng)域的專業(yè)優(yōu)勢(shì)，專門為幫助當(dāng)今半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備制造業(yè)實(shí)現(xiàn)高精度、高產(chǎn)出率目標(biāo)而研發(fā)的系列平臺(tái)。VAG 陶瓷系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái),實(shí)現(xiàn)了納米級(jí)重復(fù)定位和亞微米級(jí)平面度，兼具高速與穩(wěn)定性，適合半導(dǎo)體、光學(xué)檢測(cè)及科研等高端應(yīng)用。

	高精度
	零摩擦導(dǎo)向：采用氣浮支撐，無接觸、無磨損，實(shí)現(xiàn)平滑靜音的納米級(jí)運(yùn)動(dòng)。
	低熱膨脹陶瓷結(jié)構(gòu)：保證長(zhǎng)時(shí)間熱穩(wěn)定性。
	高剛度 & 輕量化：陶瓷材料強(qiáng)度高、重量輕，平臺(tái)動(dòng)態(tài)響應(yīng)快，固有頻率高。